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一、無(wú)流量或流量無(wú)法達(dá)到設(shè)定值現(xiàn)象：有設(shè)定信號(hào)，但實(shí)際流量為零或遠(yuǎn)低于設(shè)定值?？赡茉蚺c排除方法：氣源問(wèn)題：檢查氣瓶閥門(mén)是否打開(kāi)，減壓閥輸出壓力是否在合適范圍（通常要求比使用壓力高0.1-0.2MPa）。檢查氣路是否堵塞，如過(guò)濾器堵塞、管路...

一、產(chǎn)品概述：◆無(wú)“比熱容”誤差，高精度數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)反饋◆準(zhǔn)確度0.5%，量程可在100：1（可定制200:1,500:1）范圍內(nèi)設(shè)定，無(wú)需標(biāo)定◆無(wú)需預(yù)熱，測(cè)量時(shí)無(wú)響應(yīng)滯后ACU30FC差壓式質(zhì)量流量控制器采用無(wú)熱漂移，無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量...

一、性能及原理：高精度系列液體流量控制器/流量計(jì)，該系列產(chǎn)品采用無(wú)熱漂移，無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。與熱式質(zhì)量流量計(jì)不...

在半導(dǎo)體制造、生物制藥、新能源研發(fā)等高精尖工業(yè)領(lǐng)域，流體介質(zhì)的精確控制已進(jìn)入微升、甚至納升級(jí)別。傳統(tǒng)流量計(jì)在此尺度下往往“失準(zhǔn)”，而微小流量質(zhì)量流量計(jì)（MFC/MFM）正是指揮這些微觀流體運(yùn)動(dòng)的“精密舵手”。它不僅是測(cè)量工具，更是實(shí)現(xiàn)納米級(jí)...

氣體流量控制器要實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定且無(wú)超調(diào)的精準(zhǔn)控制，需從硬件設(shè)計(jì)、控制算法及動(dòng)態(tài)補(bǔ)償三方面協(xié)同優(yōu)化。在硬件設(shè)計(jì)上，高精度傳感器是基礎(chǔ)。選用響應(yīng)速度快、線性度好的熱式或壓差式流量傳感器，能實(shí)時(shí)捕捉流量微小變化，為控制提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。高分辨率的執(zhí)行...

混合蒸發(fā)器系統(tǒng)作為一款高性能的前驅(qū)體輸送解決方案，其應(yīng)用范圍已實(shí)現(xiàn)多市場(chǎng)、多場(chǎng)景的成熟落地應(yīng)用。除精密實(shí)驗(yàn)儀器領(lǐng)域的常規(guī)適配外，該系統(tǒng)還可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池制造的核心制程，有效支撐導(dǎo)電層/絕緣層沉積、真空工藝及化學(xué)氣相沉積（CVD...